ÉLABORATION ET CARACTÉRISATION DES COUCHES MINCES D’OXYDE DE VANADIUM DÉPOSÉES SUR MICROBALANCE A CRISTAL DE QUARTZ (QCM)
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Date
2016
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Publisher
ÉCOLE NATIONALE SUPÉRIEURE DES MINES ET MÉTALLURGIE-ANNABA
Abstract
L’objet de ce travail consiste à élaborer des dépôts d’oxyde de vanadium sur un substrat piézoélectrique représenté par la microbalance à cristal de quartz (QCM) en vue de la réalisation
d’un capteur de gaz toxiques. Les couches minces d’oxyde de vanadium sont déposées sur les QCMs par la méthode d’évaporation sous vide par effet Joule, suivi par un recuit à différentes
températures. L’influence de la température de recuit sur la structure et la morphologie des films élaborés a été étudiée par la microscopie électronique à balayage (MEB), et diffraction des rayons X
DRX. Les capteurs piézoélectriques sont susceptibles de fournir une signature du gaz par la variation de la fréquence d’oscillation du QCM quand une espèce chimique s’adsorbe à la surface. Une étude de la réponse électrique des structures élaborées a été effectuée en présences de gaz toxiques.